Испарители с косвенным нагревом, в которых испаряемое вещество нагревается за счет теплопередачи от нагревателя

Испаряемый материал (3) в виде проволоки или ленты вставляют в изготавливаемые из титана или нержавеющей стали и закрепляемые винтами (2) массивные контактные зажимы (1), к которым подводится электропитание. Для снижения тепловых потерь за счет излучения, а также ограничения потока пара (4) в направлении к подложке (5) служит многослойный экран (6).

Испарители с косвенным нагревом, в которых испаряемое вещество нагревается за счет теплопередачи от нагревателя, более универсальны, так как позволяют испарять проводящие и непроводящие материалы в виде порошка, гранул, проволоки, ленты и др.

Но при этом из-за контакта с нагретыми частями испарителя, а также из-за испарения материала подогревателя осаждаются менее чистые пленки.

Поверхность резистивных испарителей предварительно очищают, промывая в растворителях. Часто их также отжигают в вакууме. Так как форма испарителя с косвенным нагревом зависит от агрегатного состояния, в котором находится испаряемый материал, их подразделяют на проволочные, ленточные и тигельные.

Проволочные испарители применяют для испарения веществ, которые смачивают материал нагревателя. При этом расплавленное вещество силами поверхностного натяжения удерживается в виде капли на проволочном нагревателе. Проволочные испарители изготавливаются V- и W-образной формы, а также спирале- и волнообразной.

Проволочный испаритель простейшей конструкции (рис. 11а) используют для нанесения пленок алюминия, который хорошо смачивает вольфрамовый проволочный нагреватель — цилиндрическую проволочную спираль (2). Испаряемое вещество в виде скобочек (гусариков) (3) навешивают на спираль, которую отогнутыми концами (1) вставляют в контактные зажимы. По мере нагрева это вещество плавится и формируется на проволоке в виде капель.

Проволочные испарители предназначены для создания протяженного потока испаряемого материала, что достигается использованием одновременно нескольких навесок.

Ссылка на основную публикацию
Adblock
detector