ИСПАРИТЕЛИ С ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫМ НАГРЕВОМ

Электронно-лучевые испарители (рис. 14а) основаны на преобразовании кинетической энергии электронов в энергию нагрева при бомбардировке ими испаряемого материала. Эти испарители применяются при нанесении пленок тугоплавких материалов, не загрязняют камеру материалом нагревателя и тигля и могут быть использованы более длительное время, чем резистивные.

Недостатки этих испарителей – сложность аппаратуры питания и управления, трудность испарения металлов высокой теплопроводности (медь, алюминий, серебро, золото), необходимость частой замены и юстировки катода, а также питание высоким напряжением, что требует соблюдения соответствующих правил техники безопасности.

Ссылка на основную публикацию
Adblock
detector