Кристаллическая структура

Из диффузного характера изображения электронной дифракции пленки WO₃ ясно видно, что пленка является аморфной. Точная микроструктура пленки не известна, но измерение плотности указывает на значительное содержание структурных дефектов. Кристаллическая структура WO₃ состоит из искаженного ReO, структура которого построена из множества октаэдров WO₆ сочлененных один с другим. В этой структуре каждый ион W⁶⁺ октаэдрически окружен шестью ионами кислорода, а каждый ион O^-2, в свою очередь, относится одновременно к двум октаэдрам. До какой степени расширенная структура октаэдра WO₆ имеет место в аморфном материале не известно, но возможно она сохраняется для некоторого ближнего порядка. При нагревании на воздухе пленка становится прозрачной с кристаллической структурой, в значительной степени характерной для стехиометрического по составу WO₃, с некоторым доказательством того, что нестехиометрическая форма W₁₈O₄₉ присутствует в качестве незначительной фазы.