Полимеризация

Как органические, так и неорганические полимеры могут получаться из паров мономеров под воздействием электронного луча, ультрафиолетового облучения или тлеющего разряда. Подобными методами можно изготавливать изолирующие пленки с требуемыми свойствами. Электронно-лучевую обработку можно использовать для полимеризации многих материалов, в том числе таких, как стирол, бутадиен, дивинилбензол и т. д. Техника экспонирования с помощью ультрафиолетового облучения хорошо известна по фотолитографии. В этом процессе относительно толстый слой фоточувствительного материала наносится на всю поверхность и затем облучается через фотошаблон. Облученные участки полимеризуются и становятся нечувствительными к растворителям, с помощью которых удаляются необлученные участки. Аналогичная методика может быть использована и для получения изолирующих пленок. Так, например, подвергая облучению металлы в парах бутадиена, можно получить на их поверхности тонкие диэлектрические покрытия. Можно использовать и другие соединения, такие, как метилметакрилат, акролеин, дивинилбензол.